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本发明提供了一种AlSc溅射靶材EBSD样品的制样方法,所述制样方法包括如下步骤:(1)线切割AlSc溅射靶材,得到溅射靶材块;(2)对步骤(1)所得溅射靶材块的表面进行至少3次机械研磨,得到机械研磨块;(3)步骤(2)所得机械研磨块进行电解抛光,电解抛光结束后使用腐蚀液进行腐蚀,冲洗干净后完成制样。本发明提供的制样方法能够对AlSc溅射靶材进行表面处理,使其能够用于EBSD检测,使所得EBSD成像图片清晰,保证了EBSD的分析效果。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113125481 A
(43)申请公布日 2021.07.16
(21)申请号 202110455805.5 G01N 1/28 (2006.01)
(22)申请日 20
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