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晶体管及其制备方法.pdfVIP

晶体管及其制备方法.pdf

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    本发明提供一种晶体管及其制备方法。该晶体管包括：有源层、介质层、偶极子种子层和栅极。介质层设置在该有源层的表面上；偶极子种子层设置在该介质层的远离该有源层的表面上；栅极设置在该偶极子种子层的远离该介质层的表面上。根据本发明所提供的无结型场效应晶体管具备减少泄漏电流，降低静态功耗，提高器件性能的稳定性的技术效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113130657 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 20191

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