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一种真空感应化学气相沉积炉.pdfVIP

一种真空感应化学气相沉积炉.pdf

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    本发明公开了一种真空感应化学气相沉积炉，涉及化工设备技术领域，包括炉体、真空系统和充气系统，所述炉体内设置有加热室，所述加热室外侧设置有感应加热装置，所述加热室内设置有沉积室，所述沉积室与所述充气系统连通，所述加热室与所述炉体之间为真空室，所述加热室和所述真空室分别通过管路与所述真空系统连通。本发明将真空室和沉积室设置成两个相互独立的结构，真空室和沉积室不相通，沉积气体仅通入沉积室，不仅减少了沉积气体的浪费，还便于控制沉积室内沉积气体的压力和密度；真空系统分别对真空室和沉积室进行抽真空，沉积室内

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113106428 B (45)授权公告日 2022.07.26 (21)申请号 202110372054.0 C23C 16/44 (2006.01)

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