- 1、本文档共13页,其中可免费阅读12页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种晶圆卡盘,底座包括轨道;旋转轮位于底座上,且与底座活动连接;滑块与轨道对应设置,且位于轨道中;晶圆限位件与滑块对应设置,并与滑块固定连接,以构成中心对称图形,且对称中心与旋转轮的中心位于同一轴线上;驱动器与旋转轮相连接;连接杆与旋转轮及滑块活动连接,从而通过驱动器驱动旋转轮旋转,旋转轮通过连接杆带动滑块运行,以驱使多个晶圆限位件沿径线同步运行,在确保对晶圆固定的同时,使晶圆的中心与旋转轮的中心始终位于同一轴线上,从而在对晶圆进行夹持或卸载时,以及在将晶圆卡盘与旋转轴件连接时,均可实
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113130370 A
(43)申请公布日
2021.07.16
(21)申请号 20191
文档评论(0)