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2023-06-13 发布于四川
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非线性狭缝光波导和及其制备方法和应用.pdf

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本发明公开了一种非线性狭缝光波导及其制备方法和应用。本发明非线性狭缝光波导包括狭缝光波导本体，所述狭缝光波导本体包括单晶硅层，所述单晶硅层上设置有狭缝波导，还包括用于光通过的非线性增强层，且所述非线性增强层覆盖于设置有所述狭缝波导的表面并填充狭缝。本发明非线性狭缝光波导具有高的非线性效应，这样能显著降低对输入信号功率的要求，提高非线性信号处理的转换效率和转换后信号的输出功率，从而进一步增加信号处理过程的稳定性与灵活性。非线性狭缝光波导制备方法的工艺条件易控，使得制备的非线性增强层质量高和稳定，从

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113093330 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110316133.X (22)申请日 2021.03.24 (71)申请人深圳大学地址 51

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