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本发明揭示了一种红外光微型振动监测芯片及其制备方法，所述芯片包括一印刷线路板，所述印刷线路板上设置有晶圆，所述晶圆包括磷化铟衬底及设置于所述磷化铟衬底上的多量子阱外延层，所述多量子阱外延层内设置有红外光发射部件和红外光接收部件，所述红外光发射部件与所述红外光接收部件通过导线与所述印刷线路板连接。本发明采用以上技术方案与现有技术相比，产生的有益效果为：本发明的芯片对测量空间稳定性和几何光路尺寸的要求大幅度降低，安装操作方便，使用单个光电子芯片进行振动监测，成本低，操作方便，适用于多种不同的工作环境
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113066890 A
(43)申请公布日 2021.07.02
(21)申请号 202110354194.5
(22)申请日 2021.04.01
(71)申请人 南京邮电大学
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