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本发明提供了一种臭氧氧化工艺,预先通过所述传输单元将待处理基板输送至所述预热单元;所述预热单元将所述基板加热至50℃‑100℃,得到预热基板;所述传输单元将所述预热基板运送至所述工艺单元,并通过所述工艺单元对所述预热基板进行氧化处理;所述传输单元的传输速度为5毫米/秒‑40毫米/秒,所述预热基板在所述预热单元内的运输时间为25秒‑100秒,以使所述工艺单元内的所述预热基板的温度低于90℃。预热单元和工艺单元单独工作,从而在预热单元内当基板到达反应的温度后,输送至工艺单元进行氧化反应,反应气体不会
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113066904 A
(43)申请公布日 2021.07.02
(21)申请号 202110349049.8
(22)申请日 2021.03.31
(71)申请人 上海钧乾智造科技有限公司
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