化学机械研磨装置的研磨垫检测方法与研磨垫检测装置.pdfVIP

化学机械研磨装置的研磨垫检测方法与研磨垫检测装置.pdf

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本发明提供一种化学机械研磨装置的研磨垫检测方法与研磨垫检测装置，尤指以动态方式进行对研磨垫表面进行检测的方法与装置，利用检测装置以气体隔离出供研磨垫露出的隔离区域进行检测让化学机械研磨装置可在不中断制程的状态下，对研磨垫进行检测，并达到更加精准的检测结果，进而可更加适时的对抛光垫进行整修与更换。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113070809 B (45)授权公告日 2022.07.05 (21)申请号 201911300603.2 B24B 49/00 (2012.01)

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