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本发明公开了一种电子级混合酸蚀刻液的制备方法，具体步骤为向混合酸配制罐中，打入电子级氢氟酸，同时打开搅拌机；再向混合酸配制罐中，打入电子级浓硝酸，搅拌均匀，制成混合酸；再有选择地加入无机酸以及有机酸，混合搅拌均匀。其各组份的质量配比为：电子级氢氟酸:电子级浓硝酸:无机酸:有机酸
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113072306 A
(43)申请公布日 2021.07.06
(21)申请号 202110376327.9
(22)申请日 2021.04.08
(71)申请人 烟台远东精细化工有限公司
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