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2023-06-13 发布于四川
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一种方形基片的生产设备及其生产方法.pdf

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本发明提出一种方形基片的生产设备，包括：用于固定圆形基片的真空吸盘，所述真空吸盘通过电机驱动其转动，在真空吸盘上方设置有滴胶装置，以通过滴胶装置向圆形基片滴胶，还包括用于夹持圆形基片的夹持装置以及用于储放旋涂胶液的圆形基片的裂片盒，所述夹持装置与裂片盒之间连接有翻转装置，以在所述夹持装置夹持旋涂胶液的圆形基片后将其翻转放入裂片盒内，圆形基片的边缘伸出裂片盒，在裂片盒下方设置有激光切割器，以将裂片盒内的圆形基片切割成方形基片。一种方形基片的生产方法，包括以下步骤：S1、固定圆形基片；S2、旋涂胶液

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113097104 B (45)授权公告日 2022.08.02 (21)申请号 202110319188.6 G03F 7/00 (2006.01) (22)申请日 2021.03.

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