原创力文档- 1、本文档共9页，其中可免费阅读8页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种内筒壁吹扫装置，包括：反应腔室；进气喷头，设置在反应腔室的顶部，用于朝反应腔室内的托盘上的衬底供给反应气体；内筒，设置在反应腔室内，位于进气喷头和托盘之间；进气环，和内筒的上端连接，且与内筒的内筒壁之间形成有环形腔以及与环形腔连通的环形狭缝；进气管，进气管的一端和进气环连接，用于给环形腔提供吹扫气体，进气管的另一端伸出反应腔室。当反应气体从进气喷头向下流出时，吹扫气体同时从进气管进入进气环与内筒形成的环形腔内，并从与环形腔连通的环形狭缝流出，然后沿着内筒壁向下流动，吹扫气体和反应
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113088928 A
(43)申请公布日
2021.07.09
(21)申请号 20191
文档评论（0）