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本发明适用于元件加工技术领域，本发明提供了一种元件边缘效应抑制工装，通过在元件边缘增加过渡挡块，使加工时，加工工具可以完全移出元件的边缘以对其进行加工，从而使得加工工具可遍历元件整面各个位置，并且避免了元件边缘加工受力畸变，从而抑制元件边缘效应；在此基础上，本发明还提出了一种应用上述工装进行元件边缘效应抑制的方法，使用上述工装后，加工时，加工工具可以移出元件边缘，从而加工工具可遍历元件整面各个位置；同时，当加工工具完全移出元件的边缘后，加工工具开始提升，即减小加工工具与元件的接触深度，确保加工工
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113070777 A
(43)申请公布日 2021.07.06
(21)申请号 202110376485.4
(22)申请日 2021.04.08
(71)申请人 中国工程物理研究院激光聚变研究
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