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本申请属于晶圆干燥技术领域，提供烘干设备和晶圆烘干方法。烘干设备包括：烘干区，设有抽风腔和能够打开或封闭的烘干腔，烘干腔用于放置工件，抽风腔与烘干腔相互连通；气路安装区，与烘干腔通过管路连接，气路安装区用于为烘干腔输入加热氮气；主抽风管道，与烘干区连接，主抽风管道用于排出废气；框架，用于设置烘干区、气路安装区与主抽风管道。本申请通过框架实现了结构优化，提升了安装空间，更有利于操作，且可以防止外部厂务空气对内部晶圆的污染。通过向烘干腔充入加热氮气，能够减少现场操作人员以及设备的安全隐患，还降低了处
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113063271 A
(43)申请公布日 2021.07.02
(21)申请号 202110401958.1
(22)申请日 2021.04.14
(71)申请人 创微
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