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本申请提供一种定位方法、检测系统和存储介质。定位方法包括:获取承载在机台上的工件的待处理图像,工件具有第一坐标系并包括至少三个工件标记点,机台具有第二坐标系并包括与工件标记点对应的机台坐标点;根据待处理图像中的至少三个工件标记点在第一坐标系下的第一坐标值与对应的机台坐标点在第二坐标系下的第二坐标值计算工件标记点相较于对应的机台坐标点的至少三个坐标偏差;及根据至少三个坐标偏差获取工件与机台之间的位置偏差。本申请的定位方法中,通过计算待处理图像中的至少三个工件标记点与对应的机台坐标点之间的坐标偏差,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112991296 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 202110272156.5
(22)申请日 2021.03.12
(71)申请人 深圳中科飞测科技股份有限公司
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