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2023-06-04 发布于四川
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本发明提供了一种小型手动探针台，属于器件测试技术领域，包括底板、载片台、XYZ三轴位移台、显微镜滑台、Z向调整杆以及显微镜；载片台设有真空腔和与真空腔连通的吸附孔；XYZ三轴位移台滑动设于底板上，用于连接并精调探针的位置；XYZ三轴位移台为两组，左右对称设于载片台的两侧；XYZ三轴位移台借助X向直线导轨粗调到载片台的位移；显微镜滑台滑动设于底板上；Z向调整杆固定于显微镜滑台上，用于安装显微镜并精调显微镜的Z向位移；显微镜安装于Z向调整杆上。本发明提供的小型手动探针台，结构简单，使用方便，制作成本

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112684222 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 202011496755.7 (22)申请日 2020.12.17 (71)申请人中国电子科技集团公司第十三研究

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