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本发明提出一种LC复合式MEMS压力传感器及其制备方法，该压力传感器包括：堆叠的第一衬底和第二衬底；压力敏感膜，设置在所述第一衬底的上表面；第一凹槽，设置在所述第一衬底的下表面，与所述压力敏感膜相对；LC敏感体，设置在所述压力敏感膜的下表面，位于所述第一凹槽中；第二凹槽，设置在所述第二衬底的上表面，与所述第一凹槽形成真空腔；第三凹槽，环绕并间隔所述第二凹槽设置在所述第二衬底的下表面；电感线圈层，设置在所述第三凹槽的底表面及远离所述第二凹槽的一侧侧壁。该传感器在环境压力作用下，L和C均会发生变化，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112683427 B
(45)授权公告日 2022.04.29
(21)申请号 202011341915.0 CN 104583743 A,2015.04.29
(22)
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