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一种电子束辅助碳基超润滑固体薄膜制备装置及方法.pdfVIP

一种电子束辅助碳基超润滑固体薄膜制备装置及方法.pdf

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    本发明公开一种电子束辅助碳基超润滑固体薄膜制备装置及方法，包括镀膜腔室、PVD靶材、样品台、待镀膜工件和电子束辅助沉积组件，所述待镀膜工件设置在所述样品台上，所述PVD靶材、所述样品台均设置于所述镀膜腔室内，所述PVD靶材和所述待镀膜工件对应设置，所述电子束辅助沉积组件提供的可控电子束设置在所述PVD靶材和所述待镀膜工件之间；本发明在镀膜工件表面附近添加一个辅助电子束源，用于控制镀膜样件表面的电子浓度和离子浓度，从而有效的抑制或控制不导电的碳基薄膜表面的电荷积累，获得微观结构与成分可控、性能显著

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112680700 B (45)授权公告日 2022.07.26 (21)申请号 202011420118.1 C23C 14/06 (2006.01) (22)申请日 2020.12

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