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本申请涉及一种极紫外光产生方法和装置，该方法包括：液滴发生装置沿液滴运动路径产生液滴靶；液滴靶脱离液滴发生装置时，具备预设的初始自转角速度；激光光源装置产生辐射脉冲激光，并将辐射脉冲激光聚焦于真空环境中的预设打靶位置；辐射脉冲激光在预设打靶位置，沿垂直于液滴靶的转动平面的方向击打液滴靶，以使液滴靶受到激光作用并被等离子体化，产生极紫外光。上述极紫外光产生方法，液滴靶在沿液滴运动路径运动的同时自转，转变为饼状，辐射脉冲激光的传输路径垂直于饼状所在平面，有利于增大辐射脉冲激光的作用面积，使该辐射脉冲
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112684676 B
(45)授权公告日 2022.04.26
(21)申请号 202011630976.9 (56)对比文件
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