使用掠射入射FIB铣削进行样品的大面积3D分析的方法.pdfVIP

使用掠射入射FIB铣削进行样品的大面积3D分析的方法.pdf

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本文公开了使用掠射入射FIB铣削进行样品的大面积3D分析的方法和设备。实例方法至少包括：用聚焦离子束，以浅角度和以多个旋转取向铣削样品，以去除一层所述样品并暴露表面，并且在铣削之后，用带电粒子束对所述样品的暴露表面进行成像。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112683929 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 202011109443.6 G01N 23/2202 (2018.01)

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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