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在保持高图像对比度的同时提高无掩模光刻的分辨率的方法.pdfVIP

在保持高图像对比度的同时提高无掩模光刻的分辨率的方法.pdf

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    本公开内容文描述的实施方式涉及一种软件应用平台，该软件应用平台增强基板上的图像图案分辨率。该应用平台方法包括：运行算法以提供用于在目标上形成图案的不同目标多边形。确定可由DMD形成的最小特征尺寸。针对小于最小特征尺寸的每个目标多边形，确定对一个或多个目标多边形进行线偏置或照射偏置以在目标多边形的边界处实现可接受的曝光对比度。小于最小特征尺寸的一个或多个目标多边形被偏置以在基板上形成数字化的图案。当DMD的第一镜的质心在一个或多个目标多边形内时，输送电磁辐射以从第一镜反射。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112654929 A (43)申请公布日 2021.04.13 (21)申请号 201980056244.2 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理

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    知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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