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本发明公开了一种基于超声振动式机械手的MicroLED阵列方法，包括底板、通过四个支撑柱连接在底板一端的顶板、设于顶板底面的滑移抓取机构、设于底板上且位于顶板下方的料盘、设于底板另一端的光学良率检测机构以及设于底板上且位于料盘与光学良率检测机构之间的干燥震动机构；并在可控超声震动器的工作下使MicroLED在竖直方向振动进行MicroLED之间静电吸附排列以及在水平方向振动进行MicroLED传送，然后利用光学良率检测机构确保MicroLED阵列的排列良率，实现微米级微元件的高良率定向
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112635384 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 202011493942.X
(22)申请日 2020.03.04
(62)分案原申请数据
2020101
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