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本发明涉及等离子发生器技术领域,提供了一种用于多极式等离子发生器的小阳极,所述小阳极设置于阴极与阳极之间,所述小阳极侧壁沿轴向设置有多个过水孔,所述过水孔由小阳极的一端面导通至另一端面;所述小阳极内壁面与阴极端之间而形成的供气体通过的侧壁气道。其具有分别供水流和气流流通的通道,且水路和气路完全分离,互不影响。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112654127 A
(43)申请公布日 2021.04.13
(21)申请号 202011473592.0
(22)申请日 2020.12.15
(71)申请人 成都金创立科技有限责任公司
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