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本申请公开了一种超声换能器及其参数配置方法，其中，所述超声换能器参数配置方法包括：提供一个超声换能器，所述超声换能器包括：上电极、振膜、绝缘层、衬底；在所述衬底施加预设电压，所述衬底的电荷在所述预设电压的作用下隧穿至所述绝缘层，使得所述绝缘层存储有预设数量的电荷，所述预设数量的电荷用于配置所述超声换能器的带宽分数增大为预设带宽分数，和配置所述超声换能器的共振频率为预设频率。本申请超声换能器通过电学方法对共振频率进行调控，运用电荷隧穿提高带宽分数。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112620057 B
(45)授权公告日 2022.02.22
(21)申请号 201910907186.1 审查员 夏铭梓
(22)申请日 2019.09.24
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