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本发明公开了一种超高真空铜法兰密封型组件,用于超高真空系统,该组件包含螺栓连接结构法兰组件以及快卸型连接结构法兰组件两种;螺栓连接结构法兰组件包括一对螺栓连接法兰、一个弹簧增强金属C形环以及数个螺栓紧固件;快卸型连接结构法兰组件包括一对快卸法兰、一个弹簧增强金属C形环、一条压环链条;本发明的法兰件材料为铜材,能够解决传统不锈钢法兰件和衍射极限储存环铜真空室焊接困难的问题;同时,弹簧增强金属C形环依靠设计好的压缩变形量实现密封,利用该变形量可以使得两个法兰面贴合,从而解决衍射极限储存环上真空部件阻
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112503278 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 202011533501.8
(22)申请日 2020.12.23
(71)申请人 中国科学技术大学
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