相对于外延炉中的预热环自动调节基座位置的系统及方法.pdfVIP

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2023-05-31 发布于四川
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相对于外延炉中的预热环自动调节基座位置的系统及方法.pdf

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本发明实施例公开了一种相对于外延炉中的预热环自动调节基座位置的系统，所述系统可以包括：激光测量仪、控制器和驱动机构；其中，激光测量仪，配置成测量基座与预热环之间的实测相对位置信息，并将实测相对位置信息传输至控制器；控制器，配置成将实测相对位置信息与基座相对于预热环处于基准位置时的基准相对位置信息进行比较以获得实测相对位置信息与基准相对位置信息之间的偏差，并且配置成相应于偏差大于设定阈值，基于偏差生成驱动控制指令并将驱动控制指令发送至驱动机构，其中，驱动控制指令用于指示驱动机构驱动基座相对于预热环

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112501594 A (43)申请公布日 2021.03.16 (21)申请号 202011481413.8 (22)申请日 2020.12.16 (71)申请人西安

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