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本发明公开了一种清除石墨盘表面沉积物的方法，第一，将待清洗的石墨盘放入清洗设备的清洗腔内；第二，将清洗腔内的压力抽至0托；第三，向清洗腔内充入氮气，使清洗腔内的压力升至1000托；第四，重复第二步和第三步，重复次数不低于三次；第五，将清洗腔内的压力再次抽至0托，并在氮气氛围下，将清洗腔升温至930℃；第六，对清洗腔内通过混合气体，并持续2小时；第七，对清洗腔进行降温，并通入氮气进行吹扫。通过此种方法可以看出反应温度不需要很高，在930℃下即可完成反应，节省电能，降低对设备内部备件的损耗，更不会致
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112430804 A
(43)申请公布日 2021.03.02
(21)申请号 202011215503.2
(22)申请日 2020.11.04
(71)申请人 苏州尚勤光电科技有限公司
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