- 1、本文档共9页,其中可免费阅读8页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明适用于半导体加工制造领域,提供了一种声表面波滤波器的制造方法及声表面波滤波器,所述声表面波滤波器由多个腔体组成,所述腔体包括:衬底,所述衬底表面具有多个沟槽;汇流条,所述汇流条固定于所述沟槽中,且所述汇流条的顶面高于所述衬底的表面;镀层,所述镀层覆盖相邻的所述汇流条的露出面之间的所述衬底的表面。本发明通过离子束刻蚀将汇流条下衬底刻蚀至一定深度,再通过离子束蒸镀或电镀填充金属材料以形成具有一定深度的汇流条的方法,使得汇流条边沿具有刻蚀截面,消除了原本声传播方向的连续势能面,最终使得汇流条产生
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115811293 A
(43)申请公布日 2023.03.17
(21)申请号 202211585469.7
(22)申请日 2022.12.09
(71)申请人 深圳飞骧科技股份有限公司
地址 5
您可能关注的文档
- 一种高颜基比水性环氧涂料及其制备方法和应用.pdf
- 一种视网膜分化潜能细胞系CRX-Shen001及其构建方法.pdf
- 一种砂石生产循环水池内抽水装置的操作方法.pdf
- 局部监督长视频时序文本检索方法及系统.pdf
- 一种智能打孔机器人.pdf
- 一种基于属性的信息预测方法和相关设备.pdf
- 一种用于土地翻土用的松土装置及其使用方法.pdf
- 一种中大型能源用户分行业能效评价预测方法及装置.pdf
- 面团搅拌机及其控制方法、运行控制装置.pdf
- 一种动力电池包.pdf
- 浙江省临海市白云高级中学2025届高三历史3月月考试题.doc
- 云南拾谷县第一中学2024_2025学年高二物理上学期10月月考试题.doc
- 2025版高考生物总复习第13讲基因的分离定律教案苏教版.doc
- 湖北省黄石实验高中2024_2025学年高一历史下学期期末考试模拟卷.doc
- 通史版2025版高考历史大一轮复习专题七近代化的曲折发展__中日甲午战争至五四运动前4第4讲从维新思想到新文化运动课后达标检测含解析新人教版.doc
- 2024年高考数学考试大纲解读专题04导数及其应用含解析文.doc
- 河南省许汝平九校联盟2024_2025学年高一语文上学期期末考试试题扫描版无答案.doc
- 江西省吉安市吉水县第二中学2024_2025学年高一历史上学期第二次月考试题.doc
- 北京市平谷区2025届高三政治一模考试试题含解析.doc
- 2025届中考物理第四讲物态变化专项复习测试无答案新人教版.docx
文档评论(0)