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本申请提供一种波导结构复合衬底的制备方法、复合衬底及光电晶体薄膜,其中,所述波导结构复合衬底的制备方法包括在衬底层上制备波导层前体;在所述波导层前体上制备移除层前体;在所述移除层前体上进行刻蚀,形成移除层;在所述波导层前体上进行刻蚀,形成波导层,所述波导层的顶部图案和所述移除层的图案相同,其中刻蚀后在所述波导层中形成凹槽结构,所述凹槽结构的高度等于所述波导层厚度;在所述衬底层上所述移除层所在的一侧沉积包覆隔离层材料;去除所述移除层;继续沉积所述包覆隔离层材料,并对其平坦化至目标厚度,得到包覆隔离
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112379480 B
(45)授权公告日 2022.05.24
(21)申请号 202011289162.3 (51)Int.Cl.
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