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2023-05-28 发布于四川
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一种氟化氢的提纯方法及提纯系统.pdf

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本发明提供了一种氟化氢的提纯方法，包括：S1)将待纯化氟化氢液体加热，得到气态氟化氢；S2)将所述气态氟化氢与浓硫酸反应，得到反应后的气体与稀硫酸；S3)将所述反应后的气体冷凝，得到冷凝后的氟化氢；S4)将所述冷凝后的氟化氢进行低温精馏，得到高纯氟化氢。与现有技术相比，本发明利用氟硅酸与浓硫酸反应的性质，去除了氟化氢产品中难以除去的氟硅酸杂质，提高了产品的纯度；进一步的，通过低温精馏除去金属离子，最终得到脱除了氟硅酸及金属离子的高纯氟化氢气体，产品纯度达到5N，金属离子含量低于10ppb，使所得

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112374463 A (43)申请公布日 2021.02.19 (21)申请号 202011302254.0 (22)申请日 2020.11.19 (71)申请人苏州金宏气体股份有限公司

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