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本发明公开了一种超薄水膜辅助脉冲激光微加工装置及其加工方法。所述加工装置包括激光聚焦装置1、喷雾装置2、喷雾调整装置3和旋转装置4,所述旋转装置4安装在激光聚焦装置1上,所述所述旋转装置4与喷雾调整装置3相连接,所述喷雾调整装置3上设置喷雾装置2。本发明为了解决现有的水辅助激光微加工中加工效率、加工精度和加工分辨率低的问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112317961 B
(45)授权公告日 2022.06.24
(21)申请号 202011075274.9 B23K 26/146 (2014.01)
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