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工件转印装置及工件转印卡盘、以及工件转印方法.pdfVIP

工件转印装置及工件转印卡盘、以及工件转印方法.pdf

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    本发明防止从第一基板接收多个板状工件至转印部件时因粘结部的过度的挤压致使多个板状工件过分变形。具备：转印部件，设置成从第一对置位置遍及第二对置位置移动自如；粘结部，设置于转印部件的转印面，具有能够弹性变形的粘结面；反作用力支承部，在转印面中比粘结部靠外侧设置成朝向比多个板状工件靠外侧的第一接收面突出，具有硬质的反作用力面；第一接触分离驱动部，使粘结部相对于第一基板靠近移动及分离移动；及控制部，对第一接触分离驱动部进行运行控制，控制部如下进行控制：通过转印部件与第一基板的靠近移动，粘结面与多个板状

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112309907 A (43)申请公布日 2021.02.02 (21)申请号 202010729436.X (22)申请日 2020.07.27 (30)优先权数据 2019-1423

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