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进行基板快速交互搬送的机构及其搬送方法.pdfVIP

进行基板快速交互搬送的机构及其搬送方法.pdf

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    本发明涉及溅射成膜设备技术领域，尤其是一种进行基板快速交互搬送的机构及其搬送方法，其特征在于：所述机构包括至少两个夹持部以及旋转机构，其中所述夹持部与基板相吻合适配以对其进行夹持，所述旋转机构连接所述夹持部并可驱动至少两个所述夹持部可旋转以交换所述夹持部的对应位置。本发明的优点是：实现位于不同空间内的基板的快速交互搬送；结构简单合理，便于扩展，可适应于不同应用场合；使用方便，适于推广。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112249685 B (45)授权公告日 2022.04.01 (21)申请号 202011161904.4 B65G 47/74 (2006.01) (22)申请日

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