- 1、本文档共14页,其中可免费阅读13页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种半导体芯片清洗剂,其包括润湿剥离剂和全氟端基聚氧乙烯醚构成的润湿剥离组合物,还可包含渗透剂、增溶剂、复合功能剂、含氮络合剂、有机助剂和超纯水,还提供了其制备方法、用途和半导体芯片的清洗方法。所述清洗剂通过包含特定组分组成的润湿剥离组合物,以及渗透剂、复合功能剂和含氮络合剂的优选组合与协同,从而取得了优异的技术效果,在半导体芯片清洗技术领域具有良好的工业应用前景和推广潜力。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112266832 B
(45)授权公告日 2021.08.24
(21)申请号 202010995984.7 C11D 3/28 (2006.01)
您可能关注的文档
- 一种插座.pdf
- 局部地形变化监测装置、局部地形监测方法及系统.pdf
- 一种利用可燃固废制备工业型煤的方法.pdf
- 一种电力系统用集表箱.pdf
- 一种搭接接头焊接质量缺陷预测的方法、系统及计算机可读存储介质.pdf
- 一种多角度皮带斜轮分拣机.pdf
- 一种单镜头无人机倾斜摄影的航带生成方法及装置.pdf
- 一种废石英砂滤料再生处理机的烘干装置.pdf
- 一种易于固定的金属护栏.pdf
- 一种加工机床切削废料处理装置.pdf
- 2023年中石油大庆钻探工程有限公司高招聘笔试真题.pdf
- 2023年中国寰球工程有限公司招聘笔试真题.pdf
- 2023年中石油长城钻探工程有限公司招聘笔试真题.pdf
- 2023年四川成都郫都区招聘社区工作者和党建服务专员笔试真题.pdf
- 2023年中国石油天然气股份有限公司勘探开发研究院招聘笔试真题.pdf
- 2023年中国石油工程建设有限公司招聘笔试真题.pdf
- 2023年中石油西部钻探工程有限公司招聘笔试真题.pdf
- 2023年浙江宁波大学附属第一医院招聘笔试真题.pdf
- 2023年北京市朝阳区卫生健康委员会所属事业单位招聘笔试真题.pdf
- 2023年中国石油天然气股份有限公司吉林石化分公司招聘笔试真题.pdf
文档评论(0)