ITO制作工艺资料.docx

触摸屏制造工艺实战与难点[二]ITO 图形制备工艺 [二]ITO 图形制备工艺 透亮导电氧化物薄膜主要包括号 In、Zn、Sb 和Cd 的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料，具有禁带宽、可见光谱区光透射率高和电阻率低，对紫外线的吸取率大于 85%,对红外线的反射率大于 70%等特性。透亮导电薄膜以掺锡氧化铟〔Indium TinOxinde〕 ITO 为代表，广泛地应用于平板显示、太阳能电池、特别功能窗口涂层及其它光电器件领域，它的特性是当厚度降到 1800 埃 (1 埃 =10－ 10 米 )以下时会突然变得透亮，透光率为80％，再薄下去透光率反而下降，到 300 埃厚度时又上升到 80％。I