一种感光聚酰亚胺树脂的制备方法和应用.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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一种感光聚酰亚胺树脂的制备方法和应用.pdf

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本发明提供了一种感光聚酰亚胺树脂的制备方法和应用，包括以下步骤：(S1)首先制备前驱体聚异酰亚胺；所述聚异酰亚胺的结构中含有可碱水溶液显影的羟基基团；(S2)通过叔丁氧羰基(t‑Boc)保护所述羟基基团，得到所述聚酰亚胺树脂。本发明通过聚异酰亚胺前驱体设计制备了一种含羟基的聚异酰亚胺树脂，由于含有可碱溶液显影的羟基基团，致使其曝光部分在碱性水溶液中溶解速度较快，可以和未曝光部分形成很好的溶出对比度，同时在采用聚异酰亚胺为聚酰亚胺的前驱体可以很好地在250℃左右进行低温固化。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114920934 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210746965.X (22)申请日 2022.06.29 (71)申请人深圳职业技术学院地址 51805