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焦平面芯片及其制备方法、制冷光子型焦平面红外探测器。本发明涉及一种集成式偏振制冷光子型焦平面芯片，包括读出电路、填充层、光敏层和偏振光栅，填充层包括延伸至光敏层侧方的延伸区，延伸区上具有第一对位游标，基于第一对位游标与偏振光栅上的第二对位游标的对准完成偏振光栅与光敏像元结构之间的对位。相应地还提供一种集成式偏振制冷光子型焦平面芯片的制备方法及配置有上述焦平面芯片的制冷光子型焦平面红外探测器。本发明通过在填充层上形成的第一对位游标与偏振光栅上的第二对位游标对位，能显著地提高偏振光栅与红外焦平面之间
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114639693 A
(43)申请公布日 2022.06.17
(21)申请号 202210090768.7
(22)申请日 2022.01.26
(71)申请人 武汉高芯科技有限公司
地址 430
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