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本公开内容的实施方式涉及光刻模拟和光学邻近校正。场引导曝光后烘烤工艺使得能够改善光刻性能,并且这样的工艺的各种参数包括于根据本文所述的实施方式产生的光学邻近校正模型中。光学邻近校正模型包括以下一个或多个参数:各向异性酸蚀刻特性、离子产生和/或运动特性、电子运动特性、空穴运动特性和化学反应特性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114514468 A
(43)申请公布日 2022.05.17
(21)申请号 202080065502.6 史蒂文 ·希隆 ·韦尔奇
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