一种波长大范围可调节的VCSEL激光器阵列.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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一种波长大范围可调节的VCSEL激光器阵列.pdf

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本发明公开了一种波长大范围可调节的VCSEL激光器阵列，对于阵列设置的各VCSEL激光器，独立在其外部增加一个环形加热器，来对VCSEL激光器进行分别进行加热。通过控制各加热器的电流大小，使得半导体材料制备的环形加热器发热后产生不同的热量，该热量传导给中心的VCSEL激光器，通过对VCSEL激光器的加热来使其产生红移现象，即该VCSEL激光器的出射波长即发生增加，通过对VCSEL激光器由于红移现象导致固有波长变长范围的设计以及对加热器加热电流的控制，实现阵列最终出射激光波长超过20nm的连续可调

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114336289 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202210076077.1 (22)申请日 2022.01.23 (71)申请人深圳市中科光芯半导体科技有限公