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本发明涉及一种光学部件安装座(100),其包括固定部分(110)和可移动部分(120),该安装座(100)构造成支承至少一个光学部件,固定部分(110)和可移动部分(120)通过柔性铰接部(115)彼此机械地连接,该铰接部允许可移动部分(120)相对于固定部分(110)移动。根据本发明,安装座(100)包括冷却回路(180),该冷却回路(180)集成在固定部分(110)、可移动部分(120)和铰接部(115)中,并且允许流体在安装座(100)内流动,冷却回路(180)包括流体入口孔(132)和流
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114174882 A
(43)申请公布日 2022.03.11
(21)申请号 202080054328.5 (74)专利代理机构 北京市中咨律师事务所
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