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一种蒸汽供应系统，包括：加热元件48，用于从蒸汽前体材料生成蒸汽；以及控制电路20，被配置成为加热元件48提供电力以执行加热操作以生成蒸汽，并且将用于加热操作的加热元件的电阻值的测量值与用于加热元件的预定阈值电阻值进行比较以用于检测故障状态。控制电路20还被配置成：在加热元件48的至少一个加热操作期间监测加热元件48的电阻以确定一段时间内的多个监测电阻值302；将多个监测电阻值中的每一个监测电阻值与预定阈值电阻值进行比较304；并且基于多个监测电阻值与预定阈值电阻值的比较来检测加热元件48的故障
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114173592 A
(43)申请公布日 2022.03.11
(21)申请号 202080034080.6 (74)专利代理机构 北京康信知识产权代理有限
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