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提供了一种具有改进的声学和/或电声性能的电声滤波器部件。该部件包括压电材料(PM),其各侧面为平面,优选地,没有碎片缺陷。压电材料可以被布置在载体基板(CS)上方。具有平面侧面的功能层(FL)可以被布置在电极结构(ES)之上,作为修整层、TCF层或钝化层。在制造方法中,压电材料和功能层被从切割线移除,使得这些层不会发生碎片。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114175505 A
(43)申请公布日 2022.03.11
(21)申请号 202080053216.8 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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