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本发明公开了一种离子束刻蚀机及其升降旋转台装置,升降旋转台装置包括封闭壳体、转轴、旋转驱动单元和升降驱动单元;封闭壳体包括上部壳体、下部壳体和中部波纹管;中部波纹管的上端与上部壳体密封连接;中部波纹管的下端与下部壳体密封连接;转轴穿过上部壳体上端的轴孔布置;转轴与轴孔之间设置有动密封;转轴位于封闭壳体外部的上端设置有用于载片台;旋转驱动单元安装于上部壳体内;旋转驱动单元用于驱动转轴沿轴孔旋转;升降驱动单元安装于下部壳体内;升降驱动单元用于驱动转轴沿轴向升降;且转轴、上部壳体及旋转驱动单元同步升降
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114156196 A
(43)申请公布日 2022.03.08
(21)申请号 202010926525.3
(22)申请日 2020.09.07
(71)申请人 江苏鲁汶仪器有限公司
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