一种提高测量范围和全量程精度的风速风向传感器.pdfVIP

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2023-04-21 发布于北京
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一种提高测量范围和全量程精度的风速风向传感器.pdf

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本发明提供一种提高测量范围和全量程精度的风速风向传感器，首先通过离子注入制备加热元件、测温元件、硅压阻等敏感元件。然后双面氧化硅片并淀积氮化硅做钝化层保护，硅片背面开窗并腐蚀形成背腔与硅薄膜。最后去除氮化硅保护层后刻蚀引线孔，溅射金属并剥离多余部分实现金属引线和电极。此方法通过在硅薄膜上同时制备加热元件、测温元件以及硅压阻，并在芯片上方加装导风板以实现风压测量，以弥补热分布测量量程低、高风速测量灵敏度低的缺点，有效提升了传感器测量范围及全量程精度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113884701 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202111142905.9 (22)申请日 2021.09.28 (71)申请人东南大学地址 21