一种真空腔室密封器件的冷却装置.pdfVIP

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2023-04-20 发布于北京
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一种真空腔室密封器件的冷却装置.pdf

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本实用新型公开了一种真空腔室密封器件的冷却装置，包括真空腔体和冷水机，所述真空腔体的顶部固定设置有密封上盖，所述密封上盖的外侧中部固定设置有密封圈，所述冷水机靠近真空腔体的一侧中部固定连接有供水管，所述冷水机于供水管的一侧固定连接有回流管，所述冷水机的一侧固定连接有加水口，所述供水管和回流管均呈T型，所述供水管远离冷水机的两端分别固定连接有第一供水口和第二供水口。通过第一冷却管和第二冷却管对密封圈的顶部和底部同时进行降温，利用冷水机能够使冷却水的温度降低，从而提高对密封圈的冷却效果，使密封圈的温

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215880240 U (45)授权公告日 2022.02.22 (21)申请号 202121890455.7 (22)申请日 2021.08.13 (73)专利权人深圳市凯泰精密设备有限公司