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一种石英钟罩的密封结构.pdfVIP

一种石英钟罩的密封结构.pdf

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    本申请涉及真空除气炉密封的领域，尤其是涉及一种石英钟罩的密封结构，包括固接在石英钟罩开口端的连接法兰、设置在所述连接法兰和水冷法兰之间的密封圈以及用于将连接法兰固定在水冷法兰上的固定件，所述密封圈不暴露于石英钟罩内部。本申请具有可以加强石英钟罩的密封性，降低外界气体进入至石英钟罩内部概率的效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215806272 U (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202121754334.X (22)申请日 2021.07.29 (73)专利权人 北京北方华创真空技术有限公司

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