一种硅片夹取机械手臂和硅片清洗装置.pdfVIP

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2023-03-26 发布于北京
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一种硅片夹取机械手臂和硅片清洗装置.pdf

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本实用新型涉及硅片清洗技术领域，且公开了一种硅片夹取机械手臂和硅片清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱上设置有箱盖，所述清洗箱的内部设置有多个等距离排列第一固定柱和第三固定柱，所述清洗箱的一侧壁固定连通有流水口，多个所述第一固定柱远离清洗箱的一侧均设置有第二固定柱，多个所述第二固定柱和第一固定柱之间均设置有第一伸缩柱，所述第二固定柱远离第一伸缩柱的一端固定连接有第一固定块，所述第一固定块的上侧设置有第一连接块。该硅片夹取机械手臂和硅片清洗装置，通过设置的伸缩柱、复位弹簧和压块，达到了对硅片大小进行调

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213887297 U (45)授权公告日 2021.08.06 (21)申请号 202022074643.4 (22)申请日 2020.09.21 (73)专利权人郭丽娟地址 45