一种密封腔室开门装置及蒸镀设备.pdfVIP

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2023-03-15 发布于北京
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一种密封腔室开门装置及蒸镀设备.pdf

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本实用新型涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种密封腔室开门装置及蒸镀设备。本实用新型提供的密封腔室开门装置，包括支撑板、第一电控驱动机构、门板和第二电控驱动机构，门板与密封腔室的开口相匹配。第一电控驱动机构包括直线驱动器，直线驱动器固定在支撑板上，直线驱动器的输出端与门板固定连接，且能够驱动门板沿垂直于密封腔室的开口所在平面的方向移动；第二电控驱动机构用于驱动支撑板带动门板沿平行于密封腔室的开口所在平面的方向移动，从而实现门板的全自动化控制，无需手动操作，开关门方便。本实用新型提供的蒸镀设备通过应

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213596379 U (45)授权公告日 2021.07.02 (21)申请号 202022384974.8 (22)申请日 2020.10.23 (73)专利权人江苏集萃有机光电技术研究所有