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2023-03-15 发布于北京
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本实用新型公开了一种纳米压印模板，该纳米压印模板包括：柔性有机层；柔性无机层，位于所述柔性有机层上，其中所述柔性有机层超出所述柔性无机层的至少一个边缘以使部分所述柔性有机层露出；以及压印层，位于所述柔性无机层的远离所述柔性有机层的一侧且覆盖所述柔性无机层；其中所述压印层延伸跨过所述柔性无机层的所述至少一个边缘以与所述柔性有机层的露出部分连接。由于设置了柔性无机层，使纳米压印模板更不容易在外力的作用下发生变形，也不容易受外界温度或湿度的影响，提高了纳米压印模板的尺寸稳定性和可重复性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213601033 U (45)授权公告日 2021.07.02 (21)申请号 202022217802.1 (22)申请日 2020.09.30 (73)专利权人镭亚电子（苏州）有限公司