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实验六 半导体器件物理特性仿真
（实验人： 学号 ： ）
[实验目的]
1. 理解半导体器件数值模拟的原理；
2. 掌握半导体器件物理仿真软件Silvaco Atlas 工具的器件结构描述流程及物理器件仿真流
程；
3. 理解器件结构参数和工艺参数变化对主要电学特性的影响。
[实验原理]
器件物理特性仿真是一种建立在物理基础上的数值仿真。器件仿真可以实现电学特性仿
真、电学参数提取。
1. MOSFET 基本工作原理
当外加栅压为
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