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本实用新型提供了一种MEMS陀螺仪及电子产品,包括基底、固定件、第一环形件、第一辐条、第二环形件、连接组件及电极组件,通过电极组件驱动第一环形件及第二环形件沿相互垂直的第一方向和第二方向振动,并检测第一环形件及第二环形件沿与第一方向的夹角呈45度方向或与第一方向的夹角呈135度方向的振动位移,利用环形陀螺仪几何结构高度对称的特征,提高陀螺仪的灵敏度,同时具有更大的刚度,更高的模态频率,提高抗振动特性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213090780 U
(45)授权公告日 2021.04.30
(21)申请号 202021346697.5
(22)申请日 2020.07.09
(73)专利权人 瑞声科技(南京)有限公司
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